Единое окно доступа к образовательным ресурсам

Технология радиоэлектронных средств: Руководство к лабораторным работам. Ч.1

ВУЗ: Таганрогский государственный радиотехнический университет Кафедра технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры

Регион РФ:  Ростовская область

Год публикации: 2004

Библиографическая ссылка:: Светличный А.М., Наумченко А.С. Руководство к лабораторным работам по курсу "Технология радиоэлектронных средств". Ч.1. - Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2004. - 57 с.

Голосов: 0

Руководство содержит описание двух лабораторных работ по технологии термической диффузии в полупроводники. В описании к первой лабораторной работе приводится методика и результаты расчетов параметров легированных слов, полученных двух этапной диффузией. Во второй лабораторной работе рассматривается технологическое оборудование для проведения термической диффузии в кремний, методы проведения диффузии и приводятся методы измерения параметров легированных слоев. Руководство может использоваться студентами при изучении курсов Технология РЭС, Технология ЭВС, Технология микросхем, Технология микросистем, Процессы микро-и нанотехнологии, Материалы и методы нанотехнологии. Подготовлено на кафедре технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры ТРТУ.

Уровень образования:

Отзывы

Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Уже зарегистрированы?

Яндекс цитирования Яндекс.Метрика