Единое окно доступа к образовательным ресурсам

Высокочастотный емкостной разряд и его приложения

ВУЗ: Международная программа образования - ISSEP

Регион РФ:  Москва

Год публикации: 1999

Библиографическая ссылка:: Райзер Ю.П. Высокочастотный емкостной разряд и его приложения // Соросовский образовательный журнал, 1999, №8, с. 90-96.

Голосов: 1

Рассматриваются физический процесс высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда, механизм протекания ВЧ-тока, современные приложения ВЧЕ-разряда для возбуждения СО2-лазеров и ионной обработки материалов, используемых в микроэлектронике. Попутно обсуждается вопрос о природе тока смещения и месте этого фундаментального понятия в реальном механизме протекания переменного тока через цепь, содержащую изоляторы.

Предметная область:
Уровень образования:

Отзывы

Только зарегистрированные пользователи могут оставлять отзывы. Уже зарегистрированы?

Яндекс цитирования Яндекс.Метрика