Единое окно доступа к образовательным ресурсам

  1. Фильтр ресурсов
  1. Отобранных ресурсов 32

    Аудитория
    3

    33

    32

    Тип ресурса


    Уровень образования

  • Неразрушающие методы контроля параметров полупроводниковых материалов и структур: Учебное пособие

    Смирнов В.И.

    Рассмотрены методы измерения, используемые для контроля технологических операций при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Основное внимание уделено методам измерения химического состава и кристаллографической структуры полупроводников, а также различным методам исследования морфологии поверхности с использованием средств оптической, рентгеновской и электронной микроскопии. Пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлению 21100068 "Конструирование и технология электронных средств" и профилю подготовки "Элементы и устройства электронно-вычислительных средств", изучающих вопросы технологии электронных средств.

    Тип материала: Учебник, учебное пособие; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее;

  • Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники: Учебное пособие

    Григорьев Ф.И.

    В пособии изложены основные физико-химические процессы, протекающие в полимерах при имплантации ионов и изменение свойств полимеров в результате ионной имплантации. Рассмотрены ионно-лучевая литография и плазмохимическое травление полимеров. Кратко рассмотрены перспективы создания новых электронных устройств и элементов интегральной оптики на основе ионно-имплантированных полимеров.
    Пособие предназначено для студентов специальности 210104 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии".

    Тип материала: Учебник, учебное пособие; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее;

  • Исследование квантово-размерных гетероструктур In(Ga)As/GaAs методами фотоэлектрической спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии: Учебно-методическое пособие

    Павлова Е.Д., Волкова Н.С., Горшков А.П., Марычев М.О.

    В учебно-методическом пособии описаны фотоэлектрические методы диагностики энергетического спектра гетеронаноструктур с квантовыми ямами (КЯ) и точками (КТ) типа In(Ga)As/GaAs и их оптоэлектронных свойств. Рассмотрены физические основы возникновения фоточувствительности в области межзонного оптического поглощения квантово-размерных объектов. Обсуждаются закономерности влияния температуры и электрического поля на эмиссию неравновесных носителей из КЯ и КТ. Описан метод просвечивающей электронной микроскопии на поперечном срезе, позволяющий исследовать структурные свойства квантово-размерных слоев. Значительное внимание уделено исследованию структур, перспективных для создания приборов спинтроники.
    Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов старших курсов, специализирующихся по направлениям 210600 - "Нанотехнология в электронике", 210100 - "Электроника и наноэлектроника", а также для аспирантов ННГУ, обучающихся по основной профессиональной образовательной программе аспирантуры 01.04.10 - "Физика полупроводников".

    Тип материала: Учебник, учебное пособие; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее;

  • Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов. Т.1

    Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.

    Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
    В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий.
    Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.
    Представлены оглавление, предисловие и первый раздел книги.

    Тип материала: Учебник, учебное пособие; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее; Послевузовское;

  • Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие

    Ефремов А.М., Светцов В.И., Рыбкин В.В.

    Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.

    Тип материала: Учебник, учебное пособие; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее;

  • Введение в микроэлектронику: Учебное пособие

    Гатчин Ю.А., Ткалич В.Л., Виволанцев А.С., Дудников Е.А.

    В учебном пособии рассмотрены физические основы микроэлектроники, интегральные схемы и их технологии производства. Пособие включает в себя историю развития микроэлектроники, предпосылки ее появления и основные направления развития. Рассмотрены теоретические пределы миниатюризации, проблемы диагностического контроля ИС, предвестники отказов, природа и механизмы их развития. Приведены виды материалов используемых в микроэлектронике, основные технологии получения тонких пленок, методы создания и переноса изображения, а также методы модификации структур, контроля и метрологии в микроэлектронике. Дана общая характеристика СБИС и БИС, рассмотрены проблемы повышения степени интеграции. Уделено внимание проблеме перехода от микротехнологии к нанотехнологии. Предназначено для студентов и магистров, изучающих дисциплину "Физические основы микроэлектроники".

    Тип материала: Учебник, учебное пособие; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее;

  • Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники: Учебное пособие

    Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А.

    В пособии рассмотрены перспективные методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники. В первом разделе пособия представлен обзор современных литографических методов, рассмотрены альтернативные методы нанолитографии, основанные на использовании сканирующего зондового микроскопа, описаны структуры устройств наноэлектронки. Во втором разделе представлены результаты анализа механизмов локального анодного окисления металла, представлена математическая модель расчета условий и режимов формирования наноструктур методом ЛАО на основе тонких пленок металлов.
    Учебное пособие может использоваться студентами при изучении курсов "Зондовые технологии наноэлектроники", "Технологические процессы микро- и наноэлектроники", "Материалы и методы нанотехнологии", а также при проведении опережающей профессиональной подготовки и переподготовки специалистов, ориентированных на инвестиционные проекты ГК "РОСНАНОТЕХ" в области проектирования и производства СБИС с топологическими нормами 90 нм.
    Пособие подготовлено на кафедре технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры Таганрогского технологического института Южного федерального университета.

    Тип материала: Учебник, учебное пособие; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее;

  • Контроль параметров микроструктуры материалов методами дифракционного анализа: Учебное пособие по курсу "Кристаллография"

    Серба П.В., Мирошниченко С.П.

    В пособии рассматриваются способы контроля параметров микроструктуры материалов методами дифракционного анализа. Приводятся основные параметры, характеристики, методика контроля. Методическое пособие предназначено для изучения курса "Кристаллография" студентами специальностей 210100 и 210600, а также может быть полезно студентам других специальностей.
    Пособие подготовлено на кафедре технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры Таганрогского технологического института Южного федерального университета.

    Тип материала: Учебник, учебное пособие; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее;

  • Исследования и разработки в области нанотехнологий: Сборник статей сотрудников ИГХТУ

    Представлены результаты научно-исследовательских и прикладных работ, проводимых на кафедрах и в научно-производственных подразделениях Ивановского государственного химико-технологического университета в области нанотехнологий. Рассмотрены вопросы образовательной деятельности кафедр университета по нанотехнологической подготовке выпускников. Приведенные материалы могут быть полезны научным работникам, преподавателям, аспирантам, студентам, и практическим инженерам, занимающимся вопросами внедрения нанотехнологий.

    Тип материала: Сборник статей, трудов; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; Исследователь; | Уровень образования: Высшее; Послевузовское; Переподготовка и повышение квалификации;

  • Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники: Учебное пособие

    Григорьев Ф.И.

    В пособии изложены физические основы процессов ионно-плазменного нанесения тонких пленок. Рассмотрены разновидности процесса ионно-плазменного и плазмохимического нанесения пленок. Кратко рассмотрено ионно-лучевое осаждение металлических и алмазоподобных углеродных пленок.
    Пособие предназначено для студентов специальности 200100 по дисциплине "Физические основы ионно-плазменной технологии".

    Тип материала: Электронный учебный курс; | Аудитория: Учащийся; Преподаватель; | Уровень образования: Высшее;

Яндекс цитирования Яндекс.Метрика